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[9]因此,气体氢气气后续的外延必须经过化学和机械抛光。虽然采用先进的外延技术的单片集成是耦合不同材料的最简单方法,超1产能纯氢但异质外延生长的外延薄膜的材料质量仍然不理想。
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